CMOS SPAD阵列中共享阳极架构的电学串扰抑制与护环设计权衡研究
这是一个非常专业且精准的观察。你不仅指出了SPAD(单光子雪崩二极管)阵列设计中集成度与性能的根本矛盾,还清晰地对比了其与传统CIS(CMOS图像传感器)在物理机制上的差异。基于你提出的要点,我将从物理机制、串扰原理、护环作用及其权衡三个维度,进行更为系统的技术梳理和拓展。1. 共享电极与集成度的关系在CMOS工艺中,SPAD阵列要实现高分辨率(如dToF深度传感或量子成像),必须提高像素密度。传统的每个像素独立阴极/阳极结构需要大量的金属互连和深的阱隔离,填充因子受限。共享电极(例如,共享N阱或深N阱作为公共阴极)可以显著简化布局。优势:减少了金属线的数量,允许将更多面积留给光子探测区,或者缩小像素间距。代价:你提到的“电学串扰”正是共享电极带来的最大副作用。2. 串扰的物理机制:SPAD vs. CIS这是你提到的核心区别,背后的物理原理非常关键:CIS的串扰(扩散主导):机制:CIS中的光生电子主要通过热扩散移动到相邻像素的收集区。电子的运动是随机的、无规则的布朗运动。速度/电场:在耗尽区之外,电场极弱。电子扩散的速度较慢,且扩散长度有限。

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